| 产品特性：稳定可靠 | 加工定制：否 | 品牌：桃子 |
| 型号：M+200 | 电源电压：380V | 功率：2000W |
| 空气源：0.6MPa | 吐出时间调节：1S | 吐出频率：60次/分 |
| 最小吐出量：0.1ml |
使用领域: IC半导体、LED、Bumping、化合物、光通讯、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圆尺寸：Φ2"-8 Spin motor主轴转速：0-8000rpm±1rpmUniformation膜厚均匀性：＜1％(参考AZ1500） Temperation温度均匀性：0-250℃±0.5℃ MTBF：≥1500小时Uptime：95％ 涂胶单元 Coater Uint：
胶盘：Teflon，Delrin
可编程移动式滴胶
可配3路喷嘴
正/背面去边清洗
主轴电机：伺服电机（高速：8000rpm匀胶温度控制（选配）
喷嘴预清洗（选配）
环境温湿度控制（选配）
显影单元 Developer：
胶盘:Delrin
4路喷液（2 spray，1 streaam, 1 Dl water）
主轴电机：伺服电机（高速：8000rpm）
背面清洗
滴液方式：胶泵或压力罐
液体温度控制（选配）
排风控制
体积尺寸：1400mm（W）×1400mm（D）×1700mm(H)
